特許
J-GLOBAL ID：200903081542479944
圧電アクチュエータ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
中島 三千雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-318194
公開番号（公開出願番号）：特開2003-134859
出願日： 2001年10月16日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：
【要約】【課題】 サブミクロンのオーダーでの位置調整を行ない得ると共に、正確な位置精度が安定的に確保され得、しかも、より十分に大きなストロークと駆動力とが簡略な構造で、有利に実現され得る圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】 第一の移動体26と第二の移動体28とを、ベース10における第一の案内面22と第二の案内面24とに案内されつつ、上下方向と該上下方向に交叉する横方向にそれぞれ移動せしめられ得るように配設すると共に、該第二の移動体28の横方向への移動に伴って該第一の移動体26を上下方向に移動させる楔機構を設け、更に、該第二の移動体28に対して、該横方向に伸縮可能な圧電素子34と質量体44を該第二の移動体28と一体移動可能に取り付けて、該圧電素子34の変形の急速な発生乃至は停止に伴って、該質量体44が急速移動乃至は急停止せしめられたときに、該第二の移動体28が該横方向に移動せしめられるように構成した。
請求項（抜粋）：
上下方向に延びる第一の案内面と、該上下方向に対して交叉する方向となる横方向に延びる第二の案内面とを有するベースと、該ベースに対して、該ベースの前記第一の案内面に案内されつつ、上下方向に移動可能に配設された第一の移動体と、該第一の移動体の下方において、その下面に接触した状態下で、前記ベースの第二の案内面に案内されつつ、該第二の案内面が延出する前記横方向に移動可能に配設された第二の移動体と、前記第二の案内面が延出する横方向の一方から他方に向かって傾斜する傾斜面形態をもって、前記第二の移動体と接触する前記第一の移動体の下面と前記第二の案内面のうちの何れか一方にて構成された第一の傾斜面と、該第一の傾斜面に対応した傾斜面形態をもって、該第二の移動体における該第一の傾斜面との接触面にて構成されて、該第二の移動体の該横方向への移動に伴って該第一の傾斜面に摺動せしめられる第二の傾斜面とからなり、該第一の傾斜面に対する該第二の傾斜面の摺動により、それら第一の傾斜面と第二の傾斜面のうちの何れか一方を上下移動させることによって、前記第一の移動体を上下方向に移動せしめ得るように構成された楔機構と、前記第二の移動体における前記移動方向の何れか一方側の端部に、該第二の移動体と一体移動可能に取り付けられ、電圧の印加により、該第二の移動体の移動方向に沿って伸長乃至収縮変形せしめられる圧電素子と、前記第二の移動体に、前記圧電素子を介して、該第二の移動体と一体移動可能に取り付けられると共に、該圧電素子の前記電圧の印加による変形に伴って、該第二の移動体の前記移動方向に沿って移動せしめられる質量体とを、含み、前記圧電素子への印加電圧の急変による該圧電素子の変形の急速な発生乃至は停止に伴って、前記質量体が急速移動乃至は急停止せしめられたときに、該圧電素子から該質量体に及ぼされる作用力に対する反作用によって、該第二の移動体が、前記第二の案内面との間に生ずる摩擦力に打ち勝って、かかる第二の案内面が延出する前記横方向に移動せしめられるように構成したことを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (4件)：
H02N 2/00
, B23Q 5/28
, B23Q 5/34 520
, B81B 7/02
H02N 2/00 C
, B23Q 5/28 C
, B23Q 5/34 520 C
, B81B 7/02
5H680AA12
, 5H680BB09
, 5H680BC10
, 5H680DD02
, 5H680DD23
, 5H680DD65
, 5H680FF24
, 5H680GG02
