特許

J-GLOBAL ID：200903081542684327

圧電/電歪デバイス

発明者： 武内 幸久 ,  大西 孝生 ,  木村 浩二
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-059501
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162518
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】 メカニカルな光スイッチ、光シャッター等の光量等の制御に好適に用いられる小型で生産性が高く、しかも高速駆動が可能な圧電/電歪デバイスを提供する。【解決手段】 圧電/電歪デバイス51の構造を、連結板2が基板5に接合され、圧電素子4の配設された振動板3が、連結板2と基板5の接合方向に垂直な方向において連結板2と基板5との間に跨設若しくは嵌合された構造とした。

請求項（抜粋）：

連結板が基板に接合され、少なくとも一方の平板面の少なくとも一部に圧電素子が配設された振動板が、当該連結板と当該基板の接合方向に垂直な方向において、当該連結板と当該基板との間に跨設され、若しくは当該連結板と当該基板によって形成される凹部に嵌合されてなることを特徴とする圧電/電歪デバイス。

IPC (3件)：

G02B 26/02 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187

FI (3件)：

G02B 26/02 B ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 D

Fターム (6件)：

2H041AA02 ,  2H041AA04 ,  2H041AB01 ,  2H041AC08 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭55-066723
  
• 圧電アクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-305622   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 特開昭55-066723