高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法

発明者： , , , , , , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：小島隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-098228
公開番号（公開出願番号）：特開2002-293840
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：

【要約】 (修正有)【解決手段】下記一般式(1a)及び(1c)、又は(1a)、(1b)及び(1c)の繰り返し単位を含有することを特徴とする、重量平均分子量1,000〜500,000の高分子化合物。(式中、R1、R2、R5〜R7、R9、R11は水素原子、フッ素原子、又は炭素数1〜20のアルキル基又はフッ素化されたアルキル基である。R3はフッ素原子、又は炭素数1〜20のフッ素化されたアルキル基である。R4及びR8は酸不安定基、密着性基、水素原子、又は炭素数1〜20のアルキル基又はフッ素化されたアルキル基である。R10とR12は水素原子又は炭素数1〜20のヘテロ原子を含んでもよい一価の炭化水素基もしくはフッ素化された一価の炭化水素基である。)【効果】本レジスト材料は、高エネルギー線に感応し、200nm以下、特に170nm以下の波長における感度が優れている上に、優れたプラズマエッチング耐性を有する。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1a)及び(1c)、又は(1a)、(1b)及び(1c)の繰り返し単位を含有することを特徴とする、重量平均分子量1,000〜500,000の高分子化合物。【化1】(式中、R<SP>1</SP>、R<SP>2</SP>、R<SP>5</SP>〜R<SP>7</SP>、R<SP>9</SP>、R<SP>11</SP>は水素原子、フッ素原子、又は炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基又はフッ素化されたアルキル基である。R<SP>3</SP>はフッ素原子、又は炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のフッ素化されたアルキル基である。R<SP>4</SP>及びR<SP>8</SP>は酸不安定基、密着性基、水素原子、又は炭素数1〜20の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基又はフッ素化されたアルキル基である。R<SP>10</SP>とR<SP>12</SP>は水素原子又は炭素数1〜20のヘテロ原子を含んでもよい直鎖状、分岐状もしくは環状の一価の炭化水素基もしくはフッ素化された一価の炭化水素基である。R<SP>10</SP>とR<SP>12</SP>は結合して環を形成してもよく、その場合にはR<SP>10</SP>とR<SP>12</SP>で炭素数1〜15のヘテロ原子を含んでもよい直鎖状、分岐状又は環状の二価の炭化水素基を示す。0<a<1、0≦b<1、0<c<1であり、0<a+b+c≦1である。)

IPC (8件)：

C08F220/22 , C08F216/12 , C08F220/18 , C08K 5/00 , C08L 29/10 , C08L 33/04 , G03F 7/004 501 , G03F 7/039 601

FI (8件)：

C08F220/22 , C08F216/12 , C08F220/18 , C08K 5/00 , C08L 29/10 , C08L 33/04 , G03F 7/004 501 , G03F 7/039 601

Fターム (95件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA09 , 2H025AB16 , 2H025AC05 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BF08 , 2H025BG00 , 2H025CB07 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CB55 , 2H025CC20 , 2H025FA01 , 2H025FA12 , 4J002BE04W , 4J002BG03W , 4J002BG07W , 4J002BG08W , 4J002EB116 , 4J002EJ038 , 4J002EJ068 , 4J002EN027 , 4J002EN037 , 4J002EN067 , 4J002EN077 , 4J002EN097 , 4J002EU026 , 4J002EU047 , 4J002EU117 , 4J002EV216 , 4J002EV246 , 4J002EV286 , 4J002EW176 , 4J002FD206 , 4J002FD207 , 4J002FD208 , 4J002FD310 , 4J002GP03 , 4J100AE02Q , 4J100AE09Q , 4J100AL02R , 4J100AL08R , 4J100AL26P , 4J100BA03P , 4J100BA03Q , 4J100BA03R , 4J100BA04P , 4J100BA04Q , 4J100BA04R , 4J100BA11P , 4J100BA11Q , 4J100BA11R , 4J100BA15P , 4J100BA15Q , 4J100BA15R , 4J100BA30P , 4J100BA30Q , 4J100BA30R , 4J100BC03P , 4J100BC03Q , 4J100BC03R , 4J100BC04P , 4J100BC04Q , 4J100BC04R , 4J100BC07P , 4J100BC07Q , 4J100BC07R , 4J100BC08P , 4J100BC08Q , 4J100BC08R , 4J100BC09P , 4J100BC09Q , 4J100BC09R , 4J100BC52P , 4J100BC52Q , 4J100BC52R , 4J100BC55P , 4J100BC55Q , 4J100BC55R , 4J100BC58P , 4J100BC58Q , 4J100BC58R , 4J100BC65P , 4J100BC65Q , 4J100BC65R , 4J100BC79P , 4J100BC79Q , 4J100BC79R , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開昭60-042411

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