特許
J-GLOBAL ID：200903081555709388
研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-087000
公開番号（公開出願番号）：特開平7-290356
出願日： 1994年04月25日
公開日（公表日）： 1995年11月07日
要約：
【要約】【目的】 被研磨体が保持されるブロックの変形を抑制でき、被研磨体を高平坦度に研磨し得る研磨装置を提供すること。【構成】 被研磨体5を保持するブロック34の厚さ方向の変位を検出するセンサ24と、該ブロック34にモータ主軸であるボールねじ軸22aが螺合されて前記ブロック34を厚さ方向に変位させるモータ22と、前記センサ24の検出値に基づいて、前記ブロック34が平坦となるように前記モータ22を制御する制御手段21とを有する研磨装置である。また、前記センサ24は、前記ブロック34の上面の外周部近傍で支持される略円盤状の支持体23の前記ブロック34の中央部を検出する位置に一箇所設け、前記モータ22は、前記ブロック34の対称な位置に複数箇所設けるように構成した。
請求項（抜粋）：
被研磨体(5) を保持するブロック(34)と、該ブロック(34)の前記被研磨体(5) を保持した側に配置される表面に研磨布(6) が貼付された定盤(9) と、前記ブロック(34)を前記定盤(9) に向けて加圧する加圧機構部(1,33)と、前記ブロック(34)と前記定盤(9) とを相対的に摺動させる摺動駆動機構部とを有する研磨装置において、前記ブロック(34)の厚さ方向の変位を検出する変位検出手段(24)と、該ブロック(34)を厚さ方向に変位させる変位調整手段(22)と、前記変位検出手段(24)の検出値に基づいて、前記ブロック(34)が平坦となるように前記変位調整手段(22)を制御する制御手段(21)とを有することを特徴とする研磨装置。
IPC (2件)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 321
