特許
J-GLOBAL ID:200903081560657353
二重構造バレル槽
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴木 正次
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-072352
公開番号(公開出願番号):特開平5-228826
出願日: 1992年02月21日
公開日(公表日): 1993年09月07日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 この発明は、研磨中にマスから研磨屑を分離して外槽内へ保有させることを目的としたものである。【構成】 外槽内に、側壁に研磨屑の通過孔を有する内槽を設置した二重構造バレル槽。内槽は外槽内へ着脱自在に設置した二重構造バレル槽。内槽は外槽内へ複数個設置した二重構造バレル槽。
請求項(抜粋):
回転バレル研磨機又は遊星旋回式バレル研磨機に用いるバレル槽において、側壁に研磨屑の通過孔を有する内槽を、外槽内へ設置したことを特徴とする二重構造バレル槽。
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