特許
J-GLOBAL ID：200903081568898775
光学部材検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
遠山 勉 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-229242
公開番号（公開出願番号）：特開平9-072823
出願日： 1995年09月06日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：
【要約】【課題】 客観的基準に従って良品と不良品との合否判定を行うことができる光学部材検査装置を、提供する。【解決手段】白色ランプ1から出射された白色光は、光ファイバー束3内を伝えられ、拡散板5に照射される。この拡散板5の表面には、直線状のナイフエッジ6aを有する遮光板6が貼り付けられている。従って、このナイフエッジ6aが裏側から照明される。このナイフエッジ6aの位置は、検査対象光学部材としての凸レンズAの焦点位置と一致している。従って、ナイフエッジ6aから発散されつつ凸レンズAに入射した白色光は、この凸レンズAによって平行光にされて撮像装置7に入射する。ナイフエッジ回転制御部15は、モータ13によりナイフエッジ6aを一定量づつ回転させる。撮像素子7による入射光の撮像はナイフエッジ6aの各回転位置毎に行われ、各方向における欠陥部位を示す情報が一つの画像データに合成される。合成された画像データにおける欠陥部位を示す領域の面積は、数値に変換され、所定の判断基準値と比較される。
請求項（抜粋）：
光学部材の光学的欠陥を検出する光学部材検査装置であって、照明光によって照明される拡散板と、前記光学部材を含む光学系の焦点位置に配置されるとともに、前記拡散板によって拡散された光を部分的に透過させるように前記拡散板に接している遮光手段と、前記光学系を透過した光を撮像する撮像手段と、この撮像手段によって撮像された画像中の前記光学部材の光学的欠陥を示す部位を数値化する数値化手段と、この数値化手段によって数値化された数値が所定の判定基準値を超えたか否かを判定する判定手段とを備えたことを特徴とする光学部材検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01M 11/00 L
, G06F 15/62 400
