特許
J-GLOBAL ID：200903081571098887
可動体の位置決め制御装置及び定盤の姿勢制御装置及びそれらを使用した半導体露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-250120
公開番号（公開出願番号）：特開平8-088167
出願日： 1994年09月20日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：
【要約】【目的】 可動体の位置決め時間を短縮し、位置決め精度を向上させる。【構成】 目標位置近傍までは速度重視の制御モードで移動させ、目標位置近傍に達したら停止位置精度重視の制御モードに切り替えて可動体を位置決めする可動体6の位置決め制御装置において、現在位置信号と与えられる目標位置信号に基づき速度指令信号を出力する速度指令手段1において得られる速度指令値に基づいて可動体の重心位置移動情報と可動体の反作用力情報を生成し、これを可動体を搭載する定盤の姿勢制御装置に出力する位置/加速度生成手段30を具備する。また、定盤の姿勢制御装置は、定盤25を目標位置に維持すべく位置信号および加速度信号をフィードバックしてアクチュエータ24を駆動することによって定盤を目標位置に維持するものであり、前記位置/加速度生成手段30の出力に基づいて、アクチェータへの駆動指令信号を補正するための補正信号を出力する補正信号生成手段を具備する。
請求項（抜粋）：
可動体を移動するためのモータと、可動体の現在位置を検出し現在位置信号を出力する位置検出器と、この現在位置信号と与えられる目標位置信号に基づき速度指令信号を出力する速度指令手段とを有し、目標位置近傍までは前記速度指令信号に基づいて前記モータを駆動することにより可動体を速度重視の制御モードで移動させ、目標位置近傍に達したら前記目標位置信号と現在位置信号との偏差に基づいて前記モータを駆動することにより可動体を停止位置精度重視の制御モードに切り替えて位置決めする可動体の位置決め制御装置において、前記速度指令手段において得られる速度指令値に基づいて可動体の重心位置移動情報と可動体の反作用力情報を生成し、これを可動体を搭載する定盤の姿勢制御装置に出力する位置/加速度生成手段を具備することを特徴とする可動体の位置決め制御装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G05D 3/12 305
, H01L 21/68
, B23Q 15/22
H01L 21/30 515 G
, H01L 21/30 503 A
