特許
J-GLOBAL ID：200903081574934678
曲面を有する透明物体の微小欠点検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原田 信市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-091876
公開番号（公開出願番号）：特開平6-281588
出願日： 1993年03月29日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：
【要約】【目的】 光学ガラスレンズのような曲面を有する透明物体の微小欠点を、簡単な手法で精度良く的確にしかも効率良く自動検査できるようにする。【構成】 透明物体3の被検査面である曲面3a の近傍に、その曲率に対応した焦点補正レンズ6を設置し、その反対側から拡散光を照射してこれら透明物体3及び焦点補正レンズ6を透過してくる光を拡大光学系8で拡大して固体撮像素子カメラ7で受光し、その画素出力をデジタル処理して暗部を検出することにより微小欠点の有無を検査する。画素出力の2値化に当たっては、その閾値を曲面の曲率に応じて画素ごとに変えてシェーディング補正する。
請求項（抜粋）：
透明物体の被検査面である曲面の近傍に、その曲率に対応した焦点補正レンズを設置し、これら透明物体及び焦点補正レンズを透過してくる光を拡大光学系で拡大して光電変換手段で受光し、その出力から暗部を検出することにより微小欠点の有無を検査することを特徴とする、曲面を有する透明物体の微小欠点検査方法。
IPC (2件)：
G01N 21/88
, G06F 15/68 320
