特許

J-GLOBAL ID：200903081575703297

光洗浄装置

発明者： 松浦 恵司 ,  高橋 哲男
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-161336
公開番号（公開出願番号）：特開平11-010101
出願日： 1997年06月18日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：

【要約】【課題】 常温状態に保つ必要のある被洗浄物に対しても適用することができる光洗浄装置を提供する。【解決手段】 紫外線ランプから放射される紫外線を照射することにより被洗浄物を洗浄する光洗浄装置において、前記紫外線ランプから放射される光のうち、前記被洗浄物に向かう300nm(又は略300nm)よりも長波長の光を遮蔽する部材を設けたことを特徴とする光洗浄装置。

請求項（抜粋）：

紫外線ランプから放射される紫外線を照射することにより被洗浄物を洗浄する光洗浄装置において、前記紫外線ランプから放射される光のうち、前記被洗浄物に向かう300nm(又は略300nm)よりも長波長の光を遮蔽する部材を設けたことを特徴とする光洗浄装置。

IPC (4件)：

B08B 7/00 ,  A47L 15/00 ,  B01J 19/12 ,  H01L 21/304 341

FI (4件)：

B08B 7/00 ,  A47L 15/00 Z ,  B01J 19/12 C ,  H01L 21/304 341 D