特許

J-GLOBAL ID：200903081581471586

ヘテロダイン干渉計

発明者： 土井 博 ,  亀井 光仁
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 田澤 博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-080136
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265304
出願日： 1993年03月15日
公開日（公表日）： 1994年09月20日
要約：

【要約】【目的】 ヘテロダイン干渉計において、測定対象のビーム照射点の表面構造によらず、所要レベルの干渉信号を得て、計測精度を向上する。【構成】 周波数のわずかに異なる二つのビームの一方を測定対象23に照射しその反射ビームと他方のビームとを重ね合わせてわずかに異なる位置に設置された2個の光検出器A26、同B27により干渉信号A28、同B29を得るヘテロダイン検出手段と、2つの干渉信号の位相差を検出する位相差検出器32と、位相を一致させる移相器33と、一致させた干渉信号を加算する加算器34と、加算された干渉信号の周波数を分析する周波数分析器35とを備える。

請求項（抜粋）：

レーザと、レーザからのビームを二分して一方のビームの周波数をシフトさせて周波数がわずかに異なるビームを得る手段と、上記二つのビームの内の一方を測定対象に照射しその反射ビームと他方のビームとを重ね合わせて光検出器により干渉信号を得るヘテロダイン検出手段と、上記干渉信号の周波数を求める周波数分析手段とを備えたヘテロダイン干渉計であって、上記光検出器がわずかに異なる位置に2個設置され、これら2個の光検出器から出力される2つの干渉信号の位相差を検出する位相差検出手段と、この位相差検出手段の検出出力に応じて上記2つの干渉信号の位相を一致させる移相手段と、位相を一致させられた2つの干渉信号を加算する加算手段とを備えたことを特徴とするヘテロダイン干渉計。