特許
J-GLOBAL ID：200903081583888131
真空バルブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山下 一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-220052
公開番号（公開出願番号）：特開2001-052577
出願日： 1999年08月03日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：
【要約】【課題】 空気側の電極間の沿面距離を確保して小形化を可能とした真空バルブを提供する。【解決手段】 エポキシ樹脂からなる構造支持材2と真空バルブ本体1との間隙に、真空バルブ本体1の側面全体に亘って(または側面の一部分のみに)、構造支持材2と同質のエポキシ樹脂(または、各種の絶縁性熱硬化性樹脂、高電気絶縁性熱可塑性樹脂、あるいは絶縁性エラストマー等)からなる絶縁材料3を充填する。これにより、空気側の電極間の沿面距離を確保することができる。
請求項（抜粋）：
真空バルブ本体と、この真空バルブ本体の周囲に配置された構造支持材との間隙に絶縁材料を充填したことを特徴とする真空バルブ。
Fターム (3件)：
5G026RA02
, 5G026RA03
, 5G026RB04
