特許

J-GLOBAL ID：200903081588641088

石英粉末の精製方法と装置

発明者： 石渡 正治 ,  辻元 俊夫 ,  神田 稔
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社 ,  三菱マテリアルクォーツ株式会社
代理人 (1件)： 大家 邦久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-075150
公開番号（公開出願番号）：特開2001-261352
出願日： 2000年03月17日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：

【要約】【解決課題】 石英粉末から簡単な構成で効率良くアルカリ金属等の不純物金属を除去する精製方法と装置を提供する。【解決手段】 高温下および塩素系ガス導入下で石英粉末に電場を印加し、該石英粉末中の不純物金属を揮発除去する精製方法において、石英ガラスで表面が覆われた電極を用いて石英粉末に電場を印加する石英粉末の精製方法および装置。

請求項（抜粋）：

高温下および塩素系ガス導入下で石英粉末に電場を印加し、該石英粉末中の不純物金属を揮発除去する精製方法において、石英ガラスで表面が覆われた電極を用いて石英粉末に電場を印加する石英粉末の精製方法。

IPC (2件)：

C03B 20/00 ,  C01B 33/18

FI (3件)：

C03B 20/00 D ,  C03B 20/00 H ,  C01B 33/18 D

Fターム (9件)：

4G014AH00 ,  4G072AA30 ,  4G072BB05 ,  4G072GG03 ,  4G072GG04 ,  4G072JJ06 ,  4G072MM08 ,  4G072RR28 ,  4G072UU21