特許

J-GLOBAL ID：200903081591524270

感光性樹脂用下地材料

発明者： 竹山 尚幹 ,  楠本 武宏 ,  山本 茂樹 ,  岡 裕美 ,  中野 由子
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-041022
公開番号（公開出願番号）：特開平7-247401
出願日： 1994年03月11日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：

【要約】【目的】 化学増幅型レジスト等の感光性樹脂用下地材料を提供する。【構成】 ポリグリシジルアクリレート類及び400nm 以下の波長に吸収を有する光吸収剤を含む感光性樹脂用下地材料。【効果】 アルミニウム等の基板と感光性樹脂との間に上記下地材料層を設けると、照射光の基板からの乱反射及び定在波の発生を防ぐので、特にエキシマーレーザーリソグラフィーに有用である。

請求項（抜粋）：

ポリグリシジルアクリレート類及び400nm 以下の波長に吸収を有する光吸収剤を含むことを特徴とする感光性樹脂用下地材料。

IPC (8件)：

C08L 33/14 LHV ,  C07C245/08 ,  C08K 5/23 ,  C09K 3/00 104 ,  G03F 7/004 506 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/11 503 ,  C07D231/44