特許
J-GLOBAL ID:200903081593598050
形状測定装置および形状測定方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-043509
公開番号(公開出願番号):特開2000-241133
出願日: 1999年02月22日
公開日(公表日): 2000年09月08日
要約:
【要約】【課題】 対象物の形状を非接触で死角なく測定する。【解決手段】 レーザ光を対象物1に投光し、その反射光を受光して前記対象物1の形状を測定する形状測定装置において、前記対象物1に投光するレーザ光を偏向させる偏向手段3と、該偏向手段3によるレーザ光の偏向角を変える偏向角変更手段4を備えていることを特徴とする形状測定装置および該形状測定装置を用い、対象物1の上面、底面の少なくとも一方を最初に測定することを特徴とする形状測定方法。
請求項(抜粋):
レーザ光を対象物に投光し、その反射光を受光して前記対象物の形状を測定する形状測定装置において、前記対象物に投光するレーザ光を偏向させる偏向手段と、該偏向手段によるレーザ光の偏向角を変える偏向角変更手段を備えていることを特徴とする形状測定装置。
Fターム (19件):
2F065AA22
, 2F065AA31
, 2F065AA45
, 2F065BB08
, 2F065BB24
, 2F065DD00
, 2F065GG04
, 2F065LL13
, 2F065LL46
, 2F065MM03
, 2F065MM04
, 2F065MM14
, 2F065MM15
, 2F065MM16
, 2F065PP03
, 2F065PP05
, 2F065PP12
, 2F065PP22
, 2F065QQ25
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特開昭62-291505
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特開昭61-180102
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