特許
J-GLOBAL ID：200903081598808665
透明導電膜電極
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-296829
公開番号（公開出願番号）：特開平9-139515
出願日： 1995年11月15日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：
【要約】【課題】 シート抵抗が低く、テクスチュア構造を持ち、耐プラズマ性を有する透明導電膜電極を提供し、特に、太陽電池用透明導電膜電極を提供する。【解決手段】 透光性絶縁基板1上にテクスチュア構造をもつ第一透明導電膜3と、該第一透明導電膜3上に積層した第一透明導電膜よりも高い導電性をもつ第二透明導電膜4と、該第二透明導電膜4上に積層した耐プラズマ性を有する第三透明電導膜5からなり、光の入射が透光性基板1、第一透明導電膜3、第二透明導電膜4、第三透明導電膜5の順であり、屈折率が同順に大きくなることを特徴とする透明導電膜電極であり、該透明導電膜電極は低いシート抵抗値と光の利用効率向上効果を奏し、特に、集積型太陽電池において直列抵抗を低く抑えることができ、良好な光電変換特性を得ることができる。
請求項（抜粋）：
光入射側から透光性基板、第一透明導電膜、第二透明導電膜の順に積層され、第一透明導電膜はテクスチュア構造を有し、第二透明導電膜は第一透明導電膜よりも高い導電性を有することを特徴とする透明導電膜電極。
FI (2件)：
H01L 31/04 M
, H01L 31/04 H
