特許
J-GLOBAL ID：200903081601745866
放電励起エキシマレーザ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-280979
公開番号（公開出願番号）：特開平7-135363
出願日： 1993年11月10日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：
【要約】【目的】複雑な装置を必要とすることなく、ベアリング部へのダストの混入を防ぐことができる放電励起エキシマレーザ装置の提供。【構成】レーザ光を取り出すレーザミラー2、レーザガスを封入するレーザ管1及び絶縁体3と、光の誘導放出のための放電を得る放電電極4と、放電電極4間に高速のガス流を作り出すレーザファン5と、レーザファン5を支持するベアリング部6、及びレーザファン5を回転させるモータ8とカップリング部7とにより構成され、ベアリング部6のベアリングを支持するハウジングにはフィルターを通してハウジング内にレーザガスを導入するガス導入口を設け、かつハウジング外部へレーザガスを流す螺旋状の溝を表面に形成したガス排出部を備える。
請求項（抜粋）：
レーザー光を取り出すためのレーザミラーと、レーザガスを封入するレーザ管及び絶縁体と、光の誘導放出を可能にする放電を確保するための放電電極と、前記放電電極間に高速のガス流を作り出すためのレーザファンと、前記レーザファンを支持するためのベアリング部と、前記レーザファンを回転させるためのモータ及びカップリング部とを含んで成る放電励起エキシマレーザ装置において、前記ベアリング部が前記レーザファンのシャフトを支持するベアリングと前記ベアリングを支持するためのハウジングとにより構成され、前記ハウジングにはフィルターを通して前記ハウジング内にレーザガスを導入するためのガス導入口が設けられており、かつ前記フィルターを通してハウジング内部から外部へレーザガスを流すために螺旋上の溝を表面に形成したガス排出部を設けたことを特徴とする放電励起エキシマレーザ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/097 Z
, H01S 3/03 J
