特許

J-GLOBAL ID：200903081603487449

回折光学素子

発明者： 小楠 誠 ,  斉藤 謙治 ,  千葉 啓子
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 日比谷 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-234928
公開番号（公開出願番号）：特開2000-056113
出願日： 1998年08月06日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：

【要約】【課題】 別部材と接合して自重、保持、気圧等の外力による変形を防止する。【解決手段】 直径200mm、厚さ20mmの石英を材料とする平行平板20に、直径200mm(8インチ)、厚さ0.725mmの石英ウエハ上に回折格子を形成した回折光学素子21を、オプティカルコンタクトにより直接接合する。この接合された光学素子は、厚さが20.725mmの基板に回折格子を形成した回折光学素子と同等の光学性能を示し、かつ約817倍の十分な剛性が確保される。

請求項（抜粋）：

単体では自重及び/又は保持部材の圧力及び/又は気圧により変形する回折格子を他の部材と接合することにより該回折格子の変形を防止又は小さくすることを特徴とする回折光学素子。

IPC (7件)：

G02B 5/18 ,  G02B 3/00 ,  G02B 3/02 ,  G02B 3/08 ,  G02B 5/08 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

G02B 5/18 ,  G02B 3/00 Z ,  G02B 3/02 ,  G02B 3/08 ,  G02B 5/08 Z ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (22件)：

2H042AA02 ,  2H042AA03 ,  2H042AA05 ,  2H042AA19 ,  2H042AA20 ,  2H042AA22 ,  2H042AA25 ,  2H049AA14 ,  2H049AA33 ,  2H049AA44 ,  2H049AA48 ,  2H049AA55 ,  2H049AA63 ,  2H049AA64 ,  2H049AA68 ,  5F046AA06 ,  5F046AA07 ,  5F046CA04 ,  5F046CA08 ,  5F046CB13 ,  5F046CB26 ,  5F046CC01