特許
J-GLOBAL ID：200903081604094190
プラズマ処理装置の運転方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-254565
公開番号（公開出願番号）：特開平8-096992
出願日： 1994年09月22日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】【目的】 チャンバの上部に3枚以上の電極を回転対称に配置し、位相の異なる高周波電力を加えてガスをプラズマに励起し、下部電極には試料をおいて高周波電力を加えて自己バイアスを与えるようにしたプラズマ処理装置において、各電極の入力電力と反射電力を監視して、マッチングボックスの定数を調整し反射パワ-を最小にしている。反射パワ-には他の電極からの透過パワ-が含まれる。透過パワ-はプラズマの状態変動により著しく変わる。この制御では運転状態が不安定になる。【構成】 プラズマ処理の各ステップの最初だけ、反射パワ-によるマッチングボックスの制御をして以後はこの状態を保持する。マッチングボックスのパラメ-タを頻繁に変えないので、プラズマへの入力パワ-が一定しプラズマ処理装置の運転が安定化する。
請求項（抜粋）：
真空に引くことのできるチャンバと、チャンバの下方にチャンバから絶縁されて設けられ試料をその上に戴置するべき下部電極と、下部電極に第1の周波数の高周波電力を与える第1高周波電源と、下部電極と第1高周波電源の間に設けられ、両者のインピーダンスを整合させるためのマッチングボックスと、チャンバの上方に、チャンバから絶縁されて回転対称の位置に設けられる3つ以上の上部電極と、上部電極に互いに位相が異なる同一周波数の高周波電力を与えるための第2高周波電源と、第2高周波電源のインピ-ダンスと電極インピ-ダンスを整合させるために電源と上部電極の間に設けられるマッチングボックスと、上部電極への入力電力と反射電力を監視して反射電力を0にするようにマッチングボックスの状態を制御する自動整合器と、原料ガスを導入するガス導入口を有し、導入されたガスを、上部電極の発生する電界、下部電極の発生する電界によって励起し、プラズマにして試料に対してプラズマを作用させるようにしたプラズマ処理装置において、プラズマ処理の各ステップの初期において、反射電力を検出してマッチングボックスの状態変数を調整してインピ-ダンスを整合させ、このステップにおいて以後は同じ状態を保持しマッチングボックスの状態変更を行なわず、次のステップになったとき再び反射電力の検出とインピ-ダンス整合を行いそれ以後は同じ状態を保持するようにすることを繰り返すことを特徴とするプラズマ処理装置の運転方法。
IPC (4件)：
H05H 1/46
, C23F 4/00
, H01L 21/3065
, H01L 21/31
