感光性組成物及び感光性フィルム、並びに、永久パターン及びその形成方法

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：廣田浩一 , 流良広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-082426
公開番号（公開出願番号）：特開2005-316431
出願日： 2005年03月22日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：

【課題】表面のタック性が小さく、ラミネート性、取扱い性が良好で、保存安定性に優れ、現像後に優れた表面硬度、耐熱性等を発現する感光性組成物及びこれを用いた感光性フィルム、並びに、高精細な永久パターン及びその効率的な形成方法の提供。【解決手段】無水マレイン酸共重合体の無水物基に対して0.1〜1.2当量の1級アミン化合物を反応させて得られる共重合体と、重合性化合物と、光重合開始剤と、を少なくとも含む感光性組成物、これを用いた感光性フィルム、永久パターン及びその形成方法である。特に、前記共重合体が、無水マレイン酸と、芳香族ビニル単量体と、ホモポリマーのガラス転移温度(Tg)が80°C未満であるビニル単量体と、からなる共重合体の無水物基に対して0.1〜1.0当量の1級アミン化合物を反応させて得られる態様、更に熱架橋剤を含み、該熱架橋剤がアルキル化メチロールメラミンである態様等が好ましい。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)無水マレイン酸共重合体の無水物基に対して0.1〜1.2当量の1級アミン化合物を反応させて得られる共重合体と、(B)重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、を少なくとも含むことを特徴とする感光性組成物。

IPC (8件)：

G03F7/032 , C08F2/44 , C08F2/48 , C08F267/00 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/028 , H01L21/027

FI (9件)：

G03F7/032 , C08F2/44 C , C08F2/48 , C08F267/00 , G03F7/004 501 , G03F7/004 512 , G03F7/027 502 , G03F7/028 , H01L21/30 502R

Fターム (47件)：

2H025AA10 , 2H025AA13 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC32 , 2H025BC42 , 2H025CA01 , 2H025CA14 , 2H025CA18 , 2H025CA28 , 2H025CA31 , 2H025CA35 , 2H025CA48 , 2H025CB10 , 2H025CB16 , 2H025CC20 , 2H025DA01 , 2H025DA20 , 2H025EA08 , 2H025FA29 , 4J011PA70 , 4J011PC02 , 4J011PC08 , 4J011RA04 , 4J011SA73 , 4J011SA76 , 4J011SA78 , 4J011SA83 , 4J011SA84 , 4J011SA87 , 4J011UA02 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 4J026AA52 , 4J026AC26 , 4J026AC34 , 4J026AC36 , 4J026BA27 , 4J026BA28 , 4J026BB02 , 4J026CA04 , 4J026DB06 , 4J026DB36 , 4J026GA06

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開昭61-243869号公報
特開平02-097502号公報

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