特許
J-GLOBAL ID：200903081607055896
超清浄空気の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
杉本 丈夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-216834
公開番号（公開出願番号）：特開平11-057371
出願日： 1997年08月11日
公開日（公表日）： 1999年03月02日
要約：
【要約】【課題】 トンネル方式のウエハ搬送システム等に使用される空気であって、ウエハが汚染されたり自然酸化膜が生じたりしない超清浄空気を、大気を原料として効率よく製造できるようにする。【解決手段】 大気から採取した原料空気1aを、活性アルミナと合成ゼオライトとの混合物7aにより常温で吸着処理して、主として水分及び炭酸ガスを可及的に除去された前処理空気1bを得る。前処理空気1bを第1熱交換器12により冷却し、合成ゼオライト9aにより-40°C〜-60°Cで吸着処理した上、この処理空気1cを第2熱交換器13により冷却し、合成ゼオライト10aにより-150°C〜-180°Cで吸着処理して、窒素,酸素,希ガス以外のケミカル成分の濃度が1ppb以下であり且つ露点が-100°C以下の超清浄空気1eを得るようにする。
請求項（抜粋）：
大気から採取した原料空気を-40°C〜-180°Cの処理温度で吸着剤により低温吸着処理することによって、原料空気からこれに含まれる窒素,酸素,希ガス以外のケミカル成分を吸着除去するようにしたことを特徴とする超清浄空気の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B01D 53/02 Z
, B01D 53/04 J
