特許

J-GLOBAL ID：200903081609953611

レーザ加工方法、レーザ加工装置およびその方法を実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体

発明者： 黒澤 満樹
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 酒井 宏明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-193334
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028955
出願日： 1998年07月08日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】 ガルバノメータスキャナの共振による位置合わせ精度の低下を抑え、レーザビームを高速かつ高精度に位置決めできるようにすること。【解決手段】 コンピュータ21の指令データ発生部51は、指令座標(x,y)と走査速度Vと整定時間Tsに基づいて指令データを生成する。整定時間調整部52は、順次3つの所定位置での動作周波数がガルバノメータスキャナ固有の共振周波数帯域内に入ると判断したときに、3番目の所定位置での整定時間Tsを動作周波数が共振周波数帯域内に入らないように延長する。D/A変換器25,26は指令データから指令信号を作成し、スキャナドライブ回路27,28は指令信号を駆動電流に変換し,ガルバノメータスキャナ11,12は駆動電流により回転軸13,14を回転させ、これにより回転軸13,14に取り付けられたスキャンミラー15,16が回転して被加工物H上に位置合わせを行う。

請求項（抜粋）：

レーザビームをガルバノメータスキャナにより被加工物上の多数の所定位置に対して、順次移動、静止を繰り返すことで各所定位置に位置合わせして加工を行うレーザ加工方法において、レーザビームの移動時間と整定時間から算出されるガルバノメータスキャナの動作周波数がガルバノメータスキャナ固有の共振周波数帯域内に入るときは、その所定位置での動作周波数が前記共振周波数帯域内に入らないようにその所定位置での設定時間を調整することを特徴とするレーザ加工方法。

IPC (4件)：

G02B 26/10 104 ,  G02B 26/10 ,  B23K 26/06 ,  H01S 3/00

FI (4件)：

G02B 26/10 104 Z ,  G02B 26/10 A ,  B23K 26/06 C ,  H01S 3/00 B

Fターム (18件)：

2H045AB10 ,  2H045AB22 ,  2H045DA31 ,  4E068CA04 ,  4E068CA08 ,  4E068CB02 ,  4E068CC00 ,  4E068CC06 ,  4E068CD06 ,  4E068CD11 ,  4E068CE03 ,  5F072AA05 ,  5F072AB01 ,  5F072JJ02 ,  5F072JJ08 ,  5F072KK05 ,  5F072RR01 ,  5F072YY06