特許
J-GLOBAL ID：200903081618665254
熱型赤外線センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-343964
公開番号（公開出願番号）：特開平5-157622
出願日： 1991年12月02日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：
【要約】【目的】 装置の大型化を避け、小型、軽量で製造の容易な熱型赤外線センサを提供する。【構成】 基板1と熱型赤外線素子を配設した基板5とを接合する。この2枚の基板1,5の内部接合領域に真空空間部2を形成し、この真空空間部2内に熱型赤外線素子を収容して真空封止する。
請求項（抜粋）：
2枚の基板を接合してなるその内部接合領域に真空空間部が形成され、この真空空間部に赤外線を検出する熱型赤外線素子を配設した熱型赤外線センサ。
IPC (3件)：
G01J 1/02
, G01J 5/02
, G01J 5/12
