特許

J-GLOBAL ID：200903081623465700

ボンデイング座標のティーチング方法及びティーチング手段

発明者： 笹野 利明
出願人/特許権者： 株式会社新川
代理人 (1件)： 田辺 良徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-311027
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142530
出願日： 1993年11月18日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】作業時間の短縮及び位置合わせ精度の向上を図る。【構成】カメラ11で撮像した画像を処理して中心ずれ量を算出する演算制御部24と、手動入力手段45によってカメラ11をパッドの真上に移動させて第1番目及び第2番目のパッドの座標を入力することにより、第1番目及び第2番目のパッドは、前記入力した座標を補正して新たなボンデイング座標とし、第3番目以降のパッドは、該パッドの前とその前の2つの新たなボンデイング座標の差だけカメラ11を移動させ、前記移動させたカメラ11の座標を補正して新たなボンデイング座標とする演算制御部35と、前記新たなボンデイング座標を記憶するボンデイング座標メモリ36とを備えている。

請求項（抜粋）：

リードフレームに半導体チップが付着された試料にワイヤボンデイングするキャピラリと、このキャピラリとオフセットして配設されたカメラと、キャピラリ及びカメラを共にXY軸方向に駆動するXYテーブルとを備えたワイヤボンデイング装置におけるボンデイング座標のティーチング方法において、第1番目及び第2番目のパッドのティーチングは、手動入力手段によってボンデイング座標を入力してカメラをパッドの真上に移動させ、カメラで撮像した第1番目及び第2番目のパッドの画像の中心ずれ量を画像処理部の演算制御部で算出し、前記手動入力した第1番目及び第2番目のボンデイング座標を装置駆動部の演算制御部で前記中心ずれ量分補正して新たなボンデイング座標としてボンデイング座標メモリに記憶し、第3番目以降のパッドのティーチングは、検出するパッドの前とその前の2つの新たなボンデイング座標の差を装置駆動部の演算制御部が算出してカメラをその差だけの座標に移動させ、カメラで撮像した該パッドの画像の中心ずれ量を画像処理部の演算制御部で算出し、前記カメラが移動させられた座標を装置駆動部の演算制御部で前記中心ずれ量分補正して新たなボンデイング座標としてボンデイング座標メモリに記憶することを特徴とするボンデイング座標のティーチング方法。