ウェーハの貼付方法及びその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：綿貫隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-122220
公開番号（公開出願番号）：特開平11-320393
出願日： 1998年05月01日
公開日（公表日）： 1999年11月24日
要約：

【要約】【課題】キャリヤプレートの全面を均等に利用し、ウェーハの研磨精度を向上できる共に、キャリヤプレートの寿命を延ばす。【解決手段】ウェーハ20を保持し、ウェーハ20をキャリヤプレート10上に位置させると共に押圧して貼付させる貼付ヘッド30と、貼付ヘッド30とキャリヤプレート10との相対的な位置関係を調整可能な回転テーブル装置32と、キャリヤプレート10に設けたマーク12と、マーク12を検出するセンサー36と、センサー36によって検出されたマーク12を基準位置とし、ウェーハ20の貼付位置を定期的に順次変位させるべく、回転テーブル装置32を制御する位置制御装置38とを具備する。

請求項（抜粋）：

ウェーハの片面を研磨する前工程として、複数のウェーハを、平板状のキャリヤプレート上に、所定の間隔をおいて貼付するウェーハの貼付方法において、前記キャリヤプレートに設けたマークを基準位置とし、前記ウェーハの貼付位置を、定期的に順次変位させ、ウェーハを貼付することを特徴とするウェーハの貼付方法。

IPC (3件)：

B24B 37/04 , H01L 21/304 622 , H01L 21/68

FI (3件)：

B24B 37/04 J , H01L 21/304 622 L , H01L 21/68 N

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