特許

J-GLOBAL ID：200903081628592123

光モジュールの製造方法

発明者： 橋爪 秀樹
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 茂見 穰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-056733
公開番号（公開出願番号）：特開平9-230179
出願日： 1996年02月20日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】 低融点ガラスによる溶着のためレンズ表面に低融点ガラスの微細な破片や粉末が付着しても、失透が生じるのを防止でき、そのため光モジュールの光量は低下せず、またレンズ固着強度の低下も生じずに信頼性の高い製品を得ることができるようにする。【解決手段】 まずホルダ10の内部に球レンズ12を低融点ガラスリング成形体14により溶着した後、前記球レンズ及びガラス溜まり15のホルダ開口部を臨む面に物理的気相成長法により耐湿保護膜16を形成する。その後、ホルダと光半導体素子とを結合して光モジュールを製造する。ホルダの形状は、その開口部の直径aと開口部から球レンズまでの深さbとの比a/bを1以上とするのが望ましい。耐湿保護膜としては膜厚30〜200nmのSiO2 膜が好適であり、真空蒸着法で形成できる。

請求項（抜粋）：

レンズを内蔵したホルダと気密封止されている光半導体素子を、レンズと光半導体素子とが同軸上に位置するように結合する光モジュールの製造方法において、低融点ガラスを用いてレンズをホルダ内部に溶着した後、前記レンズ及びガラス溜まりのホルダ開口部を臨む面に物理的気相成長法により耐湿保護膜を形成することを特徴とする光モジュールの製造方法。

IPC (2件)：

G02B 6/42 ,  G02B 6/32

FI (2件)：

G02B 6/42 ,  G02B 6/32

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-252311
  
• 特開平2-022612
  
• 光学用レンズ部品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-348398   出願人：日本電気硝子株式会社