特許

J-GLOBAL ID：200903081635292895

圧電体素子、インクジェット式記録ヘッドおよびそれらの製造方法

発明者： 邱 宏 ,  村井 正己 ,  橋爪 勉 ,  島田 勝人 ,  角 浩二 ,  西脇 学
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-237507
公開番号（公開出願番号）：特開平11-087791
出願日： 1997年09月02日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：

【要約】【課題】 圧電体素子製造時においてクラック発生を防止しうる圧電体素子、インクジェット式記録ヘッドおよびそれらの製造方法を提供する。【解決手段】 上部電極404および下部電極302の間に圧電性材料で形成された圧電体層401,402を挟んで構成される圧電体素子において、圧電体層401,402は、その厚み方向のいずれか位置に、所定の厚みを有し、一方の圧電体層における応力が他方の圧電体層に伝達されることを防止可能な弾性を有し、かつ、当該応力緩和層の一方の圧電体層と他方の圧電体層とが接しているのと同様な状態を与える低抵抗率を有する導電性材料で組成された応力緩和層403を備える。

請求項（抜粋）：

上部電極および下部電極の間に圧電性材料で形成された圧電体層を挟んで構成される圧電体素子において、前記圧電体層は、その厚み方向のいずれか位置に、所定の厚みを有し、一方の圧電体層における応力が他方の圧電体層に伝達されることを防止可能な弾性を有する導電性材料で組成された応力緩和層を備えたことを特徴とする圧電体素子。

IPC (5件)：

H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (4件)：

H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H