積層型圧電素子

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-073113
公開番号（公開出願番号）：特開平7-283453
出願日： 1994年04月12日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：

【要約】【目的】外部電極を一層置きの内部電極に確実に接続し、導通不良や絶縁不良を防止すると共に、外部電極の剥がれによる不良を防止することができる積層型圧電素子を提供することを目的としている。【構成】膜状の圧電材料11と内部電極12とが交互に重なる積層体の側面において、露出する一層置きの内部電極12の端部に導電性凸部16を形成し、その上に、素子の積層方向に全ての圧電材料11にかかるように絶縁膜13を形成する。また、絶縁膜13の上に、外部電極である金属製のメッシュ17と銅箔15とを形成し、導電性凸部16を介して内部電極12と外部電極とが電気的に接続される。

請求項（抜粋）：

圧電材料と内部電極とが交互に積層された積層体の側面に露出する一層置きの内部電極の端部に形成された導電性凸部と、前記導電性凸部が形成された積層体の前記側面の全体を覆う絶縁膜と、その絶縁膜上に連続して形成されると共に、前記導電性凸部を介して一層置きの内部電極と電気的に接続される外部電極とを備えた積層型圧電素子において、前記外部電極が、導電性を有する金属線から成るメッシュによって構成され、前記絶縁膜の上面側から積層体に向けて圧縮することにより、前記メッシュの金属線が前記絶縁層を突き破って、前記各導電性凸部に接触し、一層置きの内部電極と電気的に接続されることを特徴とする積層型圧電素子。

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