インク噴射装置の駆動電極形成方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-050094
公開番号（公開出願番号）：特開平7-256879
出願日： 1994年03月22日
公開日（公表日）： 1995年10月09日
要約：

【要約】【目的】短時間にて容易に、低コストで駆動電極を形成すること。【構成】圧電セラミックス板1の溝2加工側の面及び溝2の内面の全体に、フォトレジスト膜を形成し、紫外線を圧電セラミックス板1の隔壁3に対して角度ψより照射する。そして、紫外線が照射された部分のフォトレジスト膜を現像液に溶解させて除去し、照射されなかった部分を残す。次に、導電性薄膜をNiの無電界メッキ法を用いて圧電セラミックスプレート1の溝2加工側の面及び溝2の内面の全体に形成した後、溶剤によってレジスト層及びそのレジスト層に付着した導電性薄膜を除去して、隔壁3の上半分の領域だけに駆動電極4を形成する。

請求項（抜粋）：

圧電材料で形成された隔壁によって隔てられた複数の溝を有するアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートの前記溝の開口部を塞ぐカバー部材と、前記隔壁の一部に形成され、電界を発生させるための駆動電極とを有するインク噴射装置の駆動電極形成方法において、前記アクチュエータプレートの前記隔壁の側面全面に、フォトレジスト膜を形成する第一工程と、前記レジスト膜の所望の部分に光線を照射する第二工程と、前記光線が照射された部分もしくは、前記光線が照射されなかった部分のレジスト膜を除去する第三工程と、前記隔壁の側面全面に導電性膜を形成する第四工程と、前記第三工程で除去されずに前記隔壁に残った前記レジスト膜と共に、そのレジスト膜上の導電性膜を除去して、所望する部分のみに前記駆動電極を得る第五工程とからなることを特徴とするインク噴射装置の駆動電極形成方法。

IPC (4件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/175 , B41J 2/16

FI (3件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 102 Z , B41J 3/04 103 H

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