特許
J-GLOBAL ID：200903081644137665
シリコン単結晶引上げ用石英ルツボとその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大家 邦久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-283983
公開番号（公開出願番号）：特開平6-239632
出願日： 1993年10月18日
公開日（公表日）： 1994年08月30日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 シリコン単結晶引上げ用石英ルツボとその製造方法の提供【構成】 (1) カーボンルツボに内装され、シリコン単結晶の引上げに使用される石英ルツボ10であって、側壁上部に吊上用の係合手段を有し、該係合手段として貫通孔12、凹部または突起が、カーボンルツボへの着脱を妨げない位置に形成されている石英ルツボ、および(2) 回転モールド内周面に堆積した石英粉体層に成形治具を挿入した状態で該石英粉体層を加熱溶融してルツボを成形し、その後、成形治具を引き抜くことにより、石英ルツボの側壁上部に係合手段の孔ないし凹部を形成する上記石英ルツボの製造方法。【効果】 係合手段を有するので石英ルツボを機械的手段によって安全、確実に搬送でき、また単結晶引上装置への着脱も容易である。また人手による作業の省力化および石英ルツボの汚染を防止できる。
請求項（抜粋）：
カーボンルツボに内装され、シリコン単結晶の引上げに使用される石英ルツボであって、側壁上部に吊上用の係合手段が形成されていることを特徴とする石英ルツボ。
IPC (3件)：
C03B 20/00
, C30B 15/10
, C30B 29/06 502
