接触燃焼式ガスセンサ及び製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：瀧野秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-161521
公開番号（公開出願番号）：特開平11-006811
出願日： 1997年06月18日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：

【要約】【課題】熱応力に対する熱伝導層22の応力破壊耐性、熱伝導層22の表面積の実効的拡大、熱伝導層22の表面の汚染耐性を図って接触燃焼式ガスセンサの長期的に高い安定性、再現性および信頼性を実現すること。【解決手段】ダイアフラム122上に形成され可燃性ガスの燃焼を促すためのヒータ18と、ヒータ18に熱的に接触して設けられた熱良導体であるポーラス形の陽極酸化皮膜22とポーラス形の陽極酸化皮膜22を介して伝導されたヒータ18の発熱量に応じて発熱して可燃性ガスの燃焼に対して触媒として作用する触媒層24を有するガス検知素子30と、ガス検知素子30に隣接してダイアフラム122上に形成され可燃性ガスの燃焼を促すためのヒータ18とヒータ18に熱的に接触して設けられた熱良導体であるポーラス形の陽極酸化皮膜22を有する補償素子321,322,323を有する。

請求項（抜粋）：

基板上にガス検知素子と補償素子とが隣接して設けられ、ガス検知素子と補償素子とで可燃性ガスを燃焼する際に発生する燃焼熱を検出することによって可燃性ガスを検量する接触燃焼式ガスセンサであって、前記ガス検知素子は、基板上に形成され前記可燃性ガスの燃焼を促すためのヒータと、当該ヒータに熱的に接触して設けられた熱良導体である熱伝導層と、当該熱伝導層を介して伝導された当該ヒータの発熱量に応じて発熱して前記可燃性ガスの燃焼に対して触媒として作用する触媒層を有する、ことを特徴とする接触燃焼式ガスセンサ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

接触燃焼式ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-260293 出願人：富士電機株式会社
電熱器および検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-242720 出願人：株式会社リコー, リコー精器株式会社

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