特許
J-GLOBAL ID：200903081645009342
ワイヤーソー及び円柱形ワークを切断する方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-096163
公開番号（公開出願番号）：特開平9-254142
出願日： 1996年03月26日
公開日（公表日）： 1997年09月30日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 ワイヤーソーによって円柱形のワークを切断する場合において、特に厚さばらつきの少ないウエーハを得ることができる、円柱形ワークを切断する方法及び装置を提供する。【解決手段】 ワイヤーソーを用いて円柱形ワークを切断する方法において、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤーとワーク外周のなす角度の変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させる、ことを特徴とする円柱形ワークを切断する方法。および、円柱形ワークを切断するワイヤーソーにおいて、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤーとワーク外周のなす角度の変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させる手段を備えた、ことを特徴とする円柱形ワーク切断用ワイヤーソー。
請求項（抜粋）：
ワイヤーソーを用いて円柱形ワークを切断する方法において、該円柱形ワークの切断長の変化またはワイヤーとワーク外周のなす角度の変化によりワークへの切断用スラリー供給量を変化させる、ことを特徴とする円柱形ワークを切断する方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B28D 5/04 C
, B24B 27/06 D
