特許

J-GLOBAL ID：200903081646996967

導電性シート

発明者： 清水 紳司 ,  大賀 隆史 ,  丸山 覚史 ,  奥村 廣行 ,  中島 佐知子
出願人/特許権者： 東洋ゴム工業株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人 ユニアス国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-007873
公開番号（公開出願番号）：特開2009-194378
出願日： 2009年01月16日
公開日（公表日）： 2009年08月27日
要約：

【課題】 平坦化特性に優れ、スクラッチの発生を抑制でき、研磨速度が大きい導電性シートを提供することを目的とする。【解決手段】 凹部構造面を有する樹脂層の該面側に、錫シートが該凹部構造に沿って積層されている積層シートを少なくとも含み、前記積層シートは、錫シート表面に溝を有しており、かつ錫シート及び樹脂層を貫く貫通孔を有する導電性シート。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

凹部構造面を有する樹脂層の該面側に、錫シートが該凹部構造に沿って積層されている積層シートを少なくとも含み、前記積層シートは、錫シート表面に溝を有しており、かつ錫シート及び樹脂層を貫く貫通孔を有する導電性シート。

IPC (5件)：

H01L 21/304 ,  B24B 37/00 ,  B32B 15/095 ,  B32B 3/30 ,  B32B 5/18

FI (6件)：

H01L21/304 622F ,  B24B37/00 N ,  B24B37/00 W ,  B32B15/08 T ,  B32B3/30 ,  B32B5/18

Fターム (14件)：

3C058AA09 ,  3C058CA05 ,  3C058CB02 ,  3C058CB03 ,  3C058DA13 ,  3C058DA17 ,  4F100AB21B ,  4F100AK01A ,  4F100AK51A ,  4F100BA02 ,  4F100DD01A ,  4F100DD05B ,  4F100DJ01A ,  4F100GB43