特許
J-GLOBAL ID：200903081647375834
水酸化テトラアルキルアンモニムの再生方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
米澤 明 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-267677
公開番号（公開出願番号）：特開平5-106074
出願日： 1991年10月16日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 ポジ型レジストの現像液として使用される水酸化テトラアルキルアンモニウムを現像液の廃液から再生する。【構成】 ポジ型レジストの現像液として使用された水酸化テトラアルキルアンモニウムを含有する現像液の廃液を再生利用するために、該廃液を二酸化炭素等で中和処理した後に分離ろ過膜、精密ろ過装置によってろ過し、ノボラック樹脂などからなる不溶解性有機物の沈澱物を除去した後、陽イオン交換膜で区画された電解槽の陽極室に供給して電気分解する際に、少なくとも2枚の陽イオン交換膜を経て陰極室から回収する方法。
請求項（抜粋）：
有機物を不純物として含んだ使用済みのテトラアルキルアンモニウムの化合物を含む水溶液を中和処理し、不溶性成分を分離除去した後に陽イオン交換膜で区画した電解槽の陽極室に供給して電解し、陰極室より水酸化テトラアルキルアンモニウムを得る際に、1段目の電解槽から得られた陰極液を次段の電解槽の陽極室に供給して多段に電気分解を行うことにより不純物として含有する有機物の量が少ない高純度水酸化テトラアルキルアンモニウムを得ることを特徴とする水酸化テトラアルキルアンモニウムの再生方法。
IPC (4件)：
C25B 3/04
, C07C209/84
, G03F 7/26
, H01L 21/027
