特許

J-GLOBAL ID：200903081662037929

共焦点光スキャナ

発明者： 田名網 健雄 ,  御厨 健太
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-145833
公開番号（公開出願番号）：特開平8-338948
出願日： 1995年06月13日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】【目的】ニポウディスクそのものを動かす構造とし、アクチュエータを1つに減らし、従来のような同期や振幅調整を必要としない共焦点光スキャナを実現する。【構成】試料を照射する光源と、この光源と前記試料の間に配置され複数の微小開口部を持つニポウディスクと、このニポウディスクを回転させる回転手段と、前記ニポウディスクと試料の間に配置され光ビームを絞るための対物レンズを備え、前記ニポウディスクを回転して光走査を行いニポウディスク上に試料の像が生成されるように構成した共焦点光スキャナにおいて、前記対物レンズとニポウディスクの間の光学距離が変化するようにニポウディスクを光軸に沿って動かす手段と、前記ニポウディスク上に生成された試料の像を少なくとも2つの方向から観察できるリレー光学系を備える。

請求項（抜粋）：

試料を照射する光源と、この光源と前記試料の間に配置され複数の微小開口部を持つニポウディスクと、このニポウディスクを回転させる回転手段と、前記ニポウディスクと試料の間に配置され光ビームを絞るための対物レンズを備え、前記ニポウディスクを回転して光走査を行いニポウディスク上に試料の像が生成されるように構成した共焦点光スキャナにおいて、前記対物レンズとニポウディスクの間の光学距離が変化するようにニポウディスクを光軸に沿って動かす手段と、前記ニポウディスク上に生成された試料の像を少なくとも2つの方向から観察できるリレー光学系を具備したことを特徴とする共焦点光スキャナ。