特許

J-GLOBAL ID：200903081665612100

低圧高周波放電プラズマ解析装置

発明者： 佐竹 宏次
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-333892
公開番号（公開出願番号）：特開平10-171776
出願日： 1996年12月13日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】 高周波電源により低圧下で生成された気体放電プラズマのシミュレーションが出来る低圧高周波放電プラズマ解析装置を提供する。【解決手段】 各種データをコンピュータに入力する手段と、これら入力されたデータをもとに、電磁場解析により放電空間中の電場、磁場を算出する手段と、この電場、磁場から電子の挙動を解析する手段及び、イオンの挙動を解析する手段と、上記解析結果を利用して、電磁場及び電子、イオンの状態量、すなわち、密度、温度、放電ガスの反応レートの放電空間中の分布を表示する手段と、指定の時間、または電子及びイオンの状態量がある値への収束を判断し、計算を継続または終了する手段とを備え、電磁場解析と電子及びイオンの挙動解析を自己無撞着に繰り返し行う。

請求項（抜粋）：

各種データを入力する手段と、上記各種データのうち電極に加えられる電圧・電流・周波数・位相のデータをもとにして電磁場解析を行ない放電空間の電場・磁場を計算する手段と、上記各種データのうち放電プラズマの境界条件データ及び初期条件データ・放電ガス圧データ・放電ガスと電子及びイオンとの衝突断面積データと、上記電磁場解析により得られた放電空間の電場・磁場とに基づいて電子の挙動を解析する手段と、この電子の挙動から電子の密度・温度・ドリフト速度及び放電ガスの各種反応レートからなる電子に係る各種空間分布を解析する手段と、上記放電プラズマの境界条件データ及び初期条件データ・放電ガス圧データ・放電ガスと電子及びイオンとの衝突断面積データと、上記電子の挙動から解析された電子に係る各種空間分布とに基づいてイオンの挙動を解析する手段と、このイオンの挙動からイオンの密度・温度・ドリフト速度からなるイオンに係る各種空間分布を解析する手段と、上記電磁場解析により得られた放電空間の電場・磁場、電子に係る各種空間分布、イオンに係る各種空間分布にて、電場・磁場、電子及びイオンの密度・温度・放電ガスの反応レートのある時刻の空間分布を表示する手段と、指定時間経過、電子及びイオンの状態量のある値への収束いずれかを判断して演算の継続か終了かを判断する手段と、を有する低圧高周波放電プラズマ解析装置。