特許
J-GLOBAL ID：200903081670887672
固体撮像素子評価用光学装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-189472
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034487
出願日： 1992年07月16日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：
【要約】【目的】 入射光の入射角に依存する特性をウェハの状態で容易に評価しうる固体撮像素子評価用光学装置を提供する。【構成】 光源1と、集光用のレンズ系2と、絞り部3とを有し、さらに評価すべきCCD撮像素子4の近傍に拡散板5を設ける。絞り部3のF数は1.2〜5.6で、拡散板5の拡散係数は絞り部3のF数に応じて切り換える。
請求項（抜粋）：
光源からの光を所定のF数を有する絞り部を介して評価すべき固体撮像素子に導く固体撮像素子評価用光学装置において、上記固体撮像素子の近傍に、上記絞り部のF数に応じた拡散係数を有する拡散部材を設けたことを特徴とする固体撮像素子評価用光学装置。
IPC (2件)：
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