特許
J-GLOBAL ID：200903081671454478
ガス供給装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
落合 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-162225
公開番号（公開出願番号）：特開平5-329357
出願日： 1992年05月28日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：
【要約】【目的】 ソースガスの単位時間当たりの供給質量を正確で、かつ、短時間で一定に制御することを目的とする。【構成】 液体ソースにキャリアガスを通すことによって液体ソースを攪伴してガス化させたソースガスを一定量で供給するガス供給装置において、キャリアガスの流量を測定するキャリアガス流量測定部と、キャリアガスとソースガスからなる混合ガスの流量を測定する混合ガス流量測定部と、混合ガスの流量を制御する混合ガス流量制御弁と、キャリアガス流量と混合ガス流量から演算して求めたソースガス濃度とキャリアガス流量との積から求めたソースガスの流量と、予め設定しておいたソースガス流量との差に応じて流量制御弁を制御する演算制御部とを備える。
請求項（抜粋）：
液体ソースにキャリアガスを通すことによって液体ソースを攪伴してガス化させたソースガスを一定量で供給するガス供給装置において、前記キャリアガスの流量を測定するキャリアガス流量測定部と、前記キャリアガスと前記ソースガスからなる混合ガスの流量を測定する混合ガス流量測定部と、前記混合ガスの流量を制御する混合ガス流量制御弁と、前記キャリアガス流量と前記混合ガス流量から演算して求めたソースガス濃度と前記キャリアガス流量との積から求めたソースガスの流量と、予め設定しておいたソースガス流量との差に応じて前記混合ガス流量制御弁を制御する演算制御部と、を備えることを特徴とするガス供給装置。
引用特許：
前のページに戻る
