異なるガス圧の領域を隔離するためのガス出入口

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：三好秀和 , 伊藤正和
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-503330
公開番号（公開出願番号）：特表2006-522217
出願日： 2004年02月04日
公開日（公表日）： 2006年09月28日
要約：

此処に開示されているのは、異なるガス組成及び/又は圧力の領域、特に大気と真空、を相互接続するための改良されたガス出入口である。ガス出入口は、異なるガス圧の領域間に在るハウジング内の円筒を含んでいる。基板材料の膜が、第一領域内の少なくとも一本のローラーと第二領域内の少なくとも一本のローラーを用いて、領域間を移動するように設計されている。ローラーは、膜が二領域間の円筒円周上部の上又は二領域間の円筒円周底部の下を進む時に、十分な張力を生ずるように配置されている。好ましい実施形態において、ガス出入口は、ハウジング上板と円筒の円周上部の上を進む基板膜との間の通路高さ、並びにハウジング底板と円筒の円周底部との間の通路高さによって特徴づけられる。そこを通るガスの流速は、円筒入口と相互接続された二領域の少なくとも一つとの間にガスの遷音速流をもたらし、従って遷音速流領域内における拡散成分の衝突間の平均自由行程を短くすることによって、一つの組成と圧力で特徴づけられる一方の領域を、異なる組成及び/又は圧力を有するもう一方の領域から効果的に隔離する。

請求項（抜粋）：

あるガス圧を有する第一領域とあるガス圧を有する第二領域とを相互接続するための装置であって、前記第一領域のガス圧は前記第二領域のガス圧とは異なっており、前記装置は: 前記第一領域及び第二領域を相互接続するガス出入口と、ここで、前記ガス出入口は、上周辺部及び底周辺部を有し且つハウジング内に設置された円筒を含み、ハウジングを貫通して基板材料の膜が前記第一領域と前記第二領域の間を移動できるように適合されており、前記膜は前記円筒の上周辺部との接触を保ち前記膜と前記ハウジングの間に頂部間隙を形成している; 前記第一領域内に置かれた少なくとも一つのローラーと、ここで、前記少なくとも一つの第一領域ローラーは、前記膜を前記頂部間隙内に導入するように適合されている; 前記第二領域内に置かれた少なくとも一つのローラーと、ここで、前記少なくとも一つの第二領域ローラーは、前記膜を前記頂部間隙の外へ導出するように適合されている;及び前記第一領域及び前記第二領域の少なくとも一つを排気するための少なくとも一つの手段とを含んでいる。

IPC (3件)：

C23C 14/56 , C23C 16/54 , H01L 21/205

FI (3件)：

C23C14/56 C , C23C16/54 , H01L21/205

Fターム (23件)：

4K029AA25 , 4K029EA03 , 4K029KA05 , 4K029KA07 , 4K030CA07 , 4K030CA12 , 4K030CA17 , 4K030GA14 , 4K030JA09 , 4K030KA10 , 4K030KA41 , 4K030KA46 , 5F045AA08 , 5F045AB04 , 5F045AF07 , 5F045CA13 , 5F045DA52 , 5F045DP22 , 5F045DQ15 , 5F045EG05 , 5F045EH14 , 5F045EN01 , 5F045HA24

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭59-023871
特開昭49-079975
特開昭58-131470

審査官引用 (5件)

特開昭59-023871
特開昭49-079975
特開昭49-079975

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