特許

J-GLOBAL ID：200903081678568010

試料の欠陥検査装置

発明者： 金馬 利文
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (4件)： 社本 一夫 ,  田中 英夫 ,  大塚 住江 ,  西山 文俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-105371
公開番号（公開出願番号）：特開2005-291833
出願日： 2004年03月31日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：

【課題】検査中であっても、オペレータが不良品であることを判断可能として、スループットを向上させる。【解決手段】画像処理/欠陥検出部300は、ウエハW上の走査により得られた画像データを画像入力部72から受け取り、該画像データを参照画像データと対比して欠陥が存在するか否かを判定し、それを表す欠陥検査結果データをPC端末の制御部401に出力する。制御部401は、欠陥検査結果データに基づいて、走査終了領域及び走査未終了領域を識別して、モニタ402上に表示させるとともに、走査終了領域中の欠陥検出位置を識別して、モニタ上に表示させる。これにより、検査途中でも、オペレータがウエハの良否を判断できる。【選択図】図15

請求項（抜粋）：

パターンが形成された試料の欠陥を検査する欠陥検査装置において、 試料上を走査することによって得られた試料表面の画像データと参照画像データとを対比して欠陥が存在するか否かを判定し、欠陥が存在するか否かを表す欠陥検査結果データを、走査に対応して出力する欠陥検出手段と、 欠陥検出手段からの欠陥検査結果データを受け取り、該データに基づいて、走査終了領域及び走査未終了領域を識別してモニタ上に表示させるよう制御する制御手段と を備えていることを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (2件)：

G01N21/956 ,  H01L21/66

FI (3件)：

G01N21/956 A ,  H01L21/66 J ,  G01B11/24 F

Fターム (39件)：

2F065AA03 ,  2F065AA49 ,  2F065AA56 ,  2F065AA58 ,  2F065BB02 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065MM03 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ42 ,  2F065RR05 ,  2F065SS03 ,  2F065SS04 ,  2F065SS13 ,  2F065UU05 ,  2F065UU06 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051DA03 ,  2G051DA07 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051FA01 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA38 ,  4M106DB05 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ23

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第3364390号公報