特許

J-GLOBAL ID：200903081678616201

グロー放電装置

発明者： ジョン ジェイ ウォズニアク ジュニア ,  ジョン エイ アポロニー ,  ロイド エイ リリア ,  エル ジョン ポッター ,  フレデリック エル クーン ,  エドウィン アール クーン ,  バリー エイ リーズ
出願人/特許権者： ゼロックス コーポレイション
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-154918
公開番号（公開出願番号）：特開平6-124675
出願日： 1993年06月25日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：

【要約】【目的】 感光体の基体をグロー放電に均一にさらすため各基体が受けるグロープラズマの量を制御することが可能なグロー放電装置を提供する。【構成】 本装置は、細長い導電性グローバー電極、グローバー電極に電位を印加してイオンを発生させる手段、グローバー電極から基体へイオンの流れを生成する手段、およびグローバー電極と基体の間のイオンの流れを部分的に阻止するように配置されたシールドから成っている。シールドには開口を通ってグローバー電極と基体の間でイオンが流れるように複数の開口が設けられている。各開口にはイオンの流れを少なくとも部分的に阻止することが可能な少なくとも1個のシャッタが取り付けられている。各シャッタは開口を通るイオンの流れを調整するため複数の位置へ個別に動かすことができる。

請求項（抜粋）：

細長い導電性グローバー電極、前記グローバー電極に電位を印加することによりイオンを発生させる手段、グローバー電極から第2電極へイオンの流れを生成する手段、およびグローバー電極と第2電極の間のイオンの流れを部分的に阻止するように配置されたシールドから成り、前記シールドには開口を通ってグローバー電極と第2電極の間でイオンが流れることができるように複数の開口が設けられており、各開口には少なくとも1個のシャッタが取り付けられており、前記シャッタは開口を通るイオンの流れを少なくとも部分的に阻止することが可能であり、各シャッタは開口を通るイオンの流れを調整するために複数の位置へ個別に動かすことが可能であることを特徴とするグロー放電装置。

IPC (3件)：

H01J 37/08 ,  C23C 14/32 ,  H01J 37/32

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭49-017380
  
• 特開昭63-050457