特許
J-GLOBAL ID：200903081681744750
外力検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-232535
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062448
出願日： 1996年08月14日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】【課題】 電極突起を保護カバーからスルーホールを介して外部に露出させることにより、固定部および可動部を外部回路等に簡単な構造で接続でき、接続部の信頼性を確実に向上できるようにする。【解決手段】 加速度センサ21を、基板22と、この基板22上に設けた各固定部24および可動部27からなる加速度検出部23と、隔壁31および蓋体32を有する保護カバー30とから構成する。そして、可動部27を、各支持部27A、各梁27Bおよび質量部27Cから構成する。また、各固定部24と可動部27との間には、固定側くし状電極26と可動側くし状電極28とからなる各変位検出部29を形成する。そして、各固定部24と各支持部27Aには、蓋体32の各スルーホール33を介して外部に露出される各電極突起35を突出形成する。さらに、各電極突起35をボンディングワイヤ37を介して外部の信号処理回路等に接続する。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板上に設けられた固定部と、前記基板上に設けられ、該固定部との間に形成された離間寸法を外部から加わる力によって変位させる可動部と、該可動部と固定部とを覆うように前記基板上に設けられた保護カバーとを備えた外力検出装置において、前記保護カバーには前記固定部に対応する位置に開口する固定部側スルーホールを穿設し、前記固定部には該固定部側スルーホール内に挿通する電極突起を形成すると共に、前記保護カバーには前記可動部に対応する位置に開口する可動部側スルーホールを穿設し、前記可動部には該可動部側スルーホール内に挿通する電極突起を形成したことを特徴とする外力検出装置。
IPC (4件)：
G01P 15/125
, G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 29/84
G01P 15/125
, G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 29/84 Z
