特許
J-GLOBAL ID：200903081682209718
ピッチ変換装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 数彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-354015
公開番号（公開出願番号）：特開平6-183512
出願日： 1992年12月15日
公開日（公表日）： 1994年07月05日
要約：
【要約】【目的】 ウェハー等の平板状試料を保持してその配列間隔を高精度に変換することが可能なピッチ変換装置を提供する。【構成】 保持部材を備えたリンク機構から成り、前記保持部材に保持された複数の平板状試料の配列間隔を一括して変換するピッチ変換装置であって、直線状に形成されたガイド、該ガイドに沿って直線移動可能に設けられた複数の移動子、該移動子の各々に取り付けられた保持部材、前記ガイドの軸線上に設けられた支点に枢着されたレバー、該レバーに一端が枢着され且つ前記移動子に他端が枢着され、しかも、所定間隔にて平行に配置された複数のアームにて構成されている。
請求項（抜粋）：
保持部材を備えたリンク機構から成り、前記保持部材に保持された複数の平板状試料の配列間隔を一括して変換するピッチ変換装置であって、直線状に形成されたガイド、該ガイドに沿って直線移動可能に設けられた複数の移動子、該移動子の各々に取り付けられた保持部材、前記ガイドの軸線上に設けられた支点に枢着されたレバー、該レバーに一端が枢着され且つ前記移動子に他端が枢着され、しかも、所定間隔にて平行に配置された複数のアームにて構成されていることを特徴とするピッチ変換装置。
IPC (5件)：
B65G 1/02
, B65G 47/88
, B65G 49/07
, F16H 21/10
, H01L 21/68
