特許
J-GLOBAL ID：200903081682758126
真空成膜装置における投入室のサンプルカセット搬出入機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
成田 擴其
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-257265
公開番号（公開出願番号）：特開平9-082778
出願日： 1995年09月11日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【課題】 外部機構によらずに、投入室に設けた機構でサンプルカセットを安定に、精度良くセットできるようにすること。【解決手段】 投入室1にはサンプルカセットの搬送待機ステージ4があり、投入室と成膜チャンバ間を搬送ロボットでサンプルを移送する。入口扉2の内側にサンプルカセットの投入セットステージ12を設け、搬送待機ステージと投入セットステージとはリンクガイド16a,16bで結合されており、入口扉を閉めると、リンクガイドは投入室内に畳み込まれる。搬送待機ステージの基台6、リンクガイド、投入セットステージの投入セット部材13の上面はサンプルカセットの搬出入滑動面を形成し、基台にはサンプルカセットに対する位置決め用のボールプランジャ31が設けられている。
請求項（抜粋）：
投入室内に設置され、サンプルカセットに対する位置決め手段とサンプルカセット搬出入滑動面を有するサンプルカセットの搬送待機ステージと、投入室入口扉の内側に設置され、サンプルカセット搬出入滑動面を有するサンプルカセットの投入セットステージと、前記搬送待機ステージと投入セットステージとを結合し、サンプルカセット搬出入滑動面を有するリンクガイドとを備えてなることを特徴とする真空成膜装置における投入室のサンプルカセット搬出入機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, C30B 23/00
