少数キャリアのライフタイム測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：本庄武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-175594
公開番号（公開出願番号）：特開2001-007173
出願日： 1999年06月22日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】マイクロ波光伝導減衰法を用いる従来の少数キャリアのライフタイム測定装置では,マイクロ波の伝播に用いられる金属製の導波管が,ウェーハ表面近くに配置されるために,マイクロ波を照射する位置を撮像するための光学系を配置することが難しく,測定位置を設定することが難しかった。【解決手段】本発明は,測定用電磁波に所定の波長を有するプローブ光を用いると共に,測定光学系により同一位置に集光された励起光及びプローブ光の集光位置に,撮像手段を合焦することにより,半導体ウェーハの表面を観察しながら,ユーザが所望する半導体ウェーハ上の測定位置を簡単に確認し得るようにすることを図ったものである。

請求項（抜粋）：

半導体ウェーハに励起光を照射する励起光照射手段と,上記励起光照射手段により励起光が照射される半導体ウェーハの領域に測定用電磁波を照射する測定用電磁波照射手段と,半導体ウェーハにて反射された上記測定用電磁波の反射波又は半導体ウェーハを透過した上記測定用電磁波の透過波の強度を検出する検出手段とを具備し,上記励起光照射前後の上記反射波又は透過波の強度変化に基づいて半導体ウェーハの少数キャリアのライフタイムを測定する少数キャリアのライフタイム測定装置において,上記測定用電磁波照射手段が半導体ウェーハに照射する測定用電磁波が,所定の波長を有するプローブ光であり,上記励起光及びプローブ光を半導体ウェーハ表面の同一位置に集光するための測定光学系と,上記励起光及びプローブ光が照射される半導体ウェーハ表面を撮像するための撮像手段と,上記測定光学系により集光された上記励起光及びプローブ光の集光位置に,上記撮像手段を合焦させる撮像光学系とを具備してなることを特徴とする少数キャリアのライフタイム測定装置。

IPC (4件)：

H01L 21/66 , G01B 11/00 , G01N 21/27 , G01N 21/64

FI (4件)：

H01L 21/66 M , G01B 11/00 H , G01N 21/27 Z , G01N 21/64 Z

Fターム (93件)：

2F065AA03 , 2F065AA14 , 2F065BB28 , 2F065CC19 , 2F065FF01 , 2F065GG06 , 2F065GG07 , 2F065HH04 , 2F065HH13 , 2F065JJ00 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065MM03 , 2F065PP12 , 2F065QQ03 , 2F065QQ17 , 2F065QQ24 , 2F065QQ39 , 2F065SS13 , 2G043AA03 , 2G043BA17 , 2G043CA07 , 2G043DA05 , 2G043EA01 , 2G043EA13 , 2G043FA03 , 2G043GA02 , 2G043GA08 , 2G043GB01 , 2G043GB03 , 2G043GB21 , 2G043HA01 , 2G043HA09 , 2G043HA15 , 2G043KA01 , 2G043KA05 , 2G043KA09 , 2G043LA01 , 2G043LA03 , 2G043MA04 , 2G043NA01 , 2G043NA06 , 2G059AA05 , 2G059BB16 , 2G059CC20 , 2G059DD13 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE07 , 2G059EE11 , 2G059FF01 , 2G059GG01 , 2G059GG03 , 2G059GG08 , 2G059HH01 , 2G059HH06 , 2G059JJ11 , 2G059JJ20 , 2G059JJ22 , 2G059JJ30 , 2G059KK03 , 2G059KK04 , 2G059MM05 , 2G059MM09 , 2G059MM10 , 2G059PP04 , 4M106AA01 , 4M106AA07 , 4M106AA08 , 4M106AB15 , 4M106AC02 , 4M106AC07 , 4M106AD10 , 4M106BA02 , 4M106BA05 , 4M106BA09 , 4M106CA18 , 4M106CB11 , 4M106DA15 , 4M106DH12 , 4M106DH32 , 4M106DH38 , 4M106DH39 , 4M106DH41 , 4M106DJ02 , 4M106DJ04 , 4M106DJ07 , 4M106DJ21 , 4M106DJ24 , 4M106DJ32

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