特許
J-GLOBAL ID：200903081691007591
マイクロミラー装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-321235
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174722
出願日： 2000年10月20日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：
【要約】【課題】 基板と、基板上に形成されたアドレス電極と、基板に対して所定間隔離隔したまま向い合うように配置されたマイクロミラーとを含んで、アドレス電極とマイクロミラーとの静電引力により前記マイクロミラーの傾斜を調節できるようにしたマイクロミラー装置を提供する。【解決手段】 基板上に突設され、上部がマイクロミラーの周辺に位置する補助電極を含んで、マイクロミラーが静電力により一方向に傾いた場合にもマイクロミラーと補助電極との間隔が狭く維持されて、復元時補助電極の静電力により復元されるようになったことを特徴とする。これにより、アドレス電極周辺にマイクロミラー方向に突出した補助電極を具備することによって、傾いたマイクロミラーの復元時補助電極とマイクロミラーとの静電引力により復元速度を上げられて、高速応答速度を要求する画像表示装置に広く用いられる。
請求項（抜粋）：
基板と、前記基板上に形成されたアドレス電極と、前記基板に対して所定間隔離隔したまま向い合うように配置されたマイクロミラーとを含んで、前記アドレス電極と前記マイクロミラーとの静電引力により前記マイクロミラーの傾斜を調節できるようにしたマイクロミラー装置において、前記基板上に突設され、上部が前記マイクロミラーの周辺に位置するようにした補助電極を具備して、前記マイクロミラーの復元時前記補助電極の静電力により復原力と復元速度を上げるようにしたことを特徴とするマイクロミラー装置。
IPC (4件)：
G02B 26/08
, B81B 3/00
, G02B 26/10 104
, H04N 5/74
G02B 26/08 E
, B81B 3/00
, G02B 26/10 104 Z
, H04N 5/74 B
