光導波路

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-162493
公開番号（公開出願番号）：特開平8-029632
出願日： 1994年07月14日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】コア部の内部応力が低減された光導波路を提供する。【構成】コア部(30)の両側においてクラッド層(20)の一部がコア部(30)に沿って除去されており、クラッド層(20)のうちコア部(30)を被覆するクラッド部(25)およびコア部には、このコア部およびクラッド部を分断する溝(50)が形成されている。コア部およびクラッド部が周囲のクラッド層から分離されているので、コア部およびクラッド部の内部応力のうち光軸方向に交差する方向のものが低減されている。コア部およびクラッド部を分断する溝により、コア部の一部およびこれを被覆するクラッド部の一部が他の部分から分離されているので、この分離された部分の内部応力のうち光軸方向に沿った方向のものも低減されている。

請求項（抜粋）：

基板の上面に積層されたクラッド層と、このクラッド層に埋設された、このクラッド層よりも高屈折率のコア部とを備える光導波路において、前記コア部の両側において前記クラッド層の一部が前記コア部に沿って除去されており、前記クラッド層のうち前記コア部を被覆するクラッド部および前記コア部には、このコア部および前記クラッド部を分断する溝が形成されていることを特徴とする光導波路。

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭63-043105
特開昭63-147145
特開平4-070605

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