特許
J-GLOBAL ID：200903081708623186

マルチゾーン抵抗ヒータ

発明者：
ホ, ヘンリー

ホ, ヘンリー について

, 
ツィ, アンキン

ツィ, アンキン について

, 
ユアン, シャオション

ユアン, シャオション について


出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  山田 行一 ,  野田 雅一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-541591
公開番号（公開出願番号）：特表2006-500789
出願日： 2003年09月19日
公開日（公表日）： 2006年01月05日
要約：
ウェハを支持するための領域を有する表面および本体を備えるステージと、ステージに結合されたシャフトと、第1および第2の加熱素子とを含む加熱装置。第1の加熱素子は、ステージの本体の第1の平面内に配置される。第2の加熱素子は、第1の加熱素子よりステージの表面から離れた距離にあるステージの本体の第2の平面内に配置され、第2の加熱素子は、第1の平面および第2の平面の少なくとも1つに対して実質的に平行な平面に第1の加熱素子からずらされる。
請求項（抜粋）：
ウェハを支持するための領域を有する表面と本体とを備えるステージと、 前記ステージに結合されたシャフトと、 前記ステージの本体の第1の平面内に配置された第1の加熱素子と、 前記ステージの本体の前記第1の平面より前記ステージの表面から離れた距離にある前記ステージの本体の第2の平面内に配置された第2の加熱素子と、 を備え、 前記第2の加熱素子が、前記本体の前記第1の平面に実質的に平行な平面において前記第1の加熱素子からずらされている、装置。
IPC (3件)：
H01L 21/205 ,  H01L 21/683 ,  H05B 3/74
FI (3件)：
H01L21/205 ,  H01L21/68 N ,  H05B3/74
Fターム (25件)：
3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB02 ,  3K092QB43 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092VV22 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA33 ,  5F031HA37 ,  5F031HA38 ,  5F031JA01 ,  5F031JA46 ,  5F031MA28 ,  5F031PA11 ,  5F045AA03 ,  5F045AB03 ,  5F045AB33 ,  5F045AD11 ,  5F045AF01 ,  5F045BB02 ,  5F045DP02 ,  5F045EK05 ,  5F045EM01
引用特許：
審査官引用 (4件)
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