特許

J-GLOBAL ID：200903081710136268

弾性率の測定方法およびその測定装置

発明者： 羽田 育美 ,  塚本 遵
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-137069
公開番号（公開出願番号）：特開2002-333393
出願日： 2001年05月08日
公開日（公表日）： 2002年11月22日
要約：

【要約】【課題】サンプル材料のみでミクロンオーダーの寸法のサンプルを成形することができない、または困難である材料の基板に影響されない材料固有の弾性率を測定することができる弾性率の測定方法とその測定装置を提供することを課題とするものである。【解決手段】基板上または基板間に形成したサンプルの弾性率の測定において、サンプルに負荷試験を行い、試験結果と基板の力学特性を基にした数値計算によりサンプル材料固有の弾性率を算出することを特徴とする弾性率の測定方法および前記方法を用いた測定装置。

請求項（抜粋）：

基板上または基板間に形成したサンプルの弾性率の測定において、サンプルに負荷試験を行い、試験結果と基板の力学特性を基にした数値計算によりサンプル材料固有の弾性率を算出することを特徴とする弾性率の測定方法。

IPC (2件)：

G01N 3/08 ,  G01N 1/28

FI (2件)：

G01N 3/08 ,  G01N 1/28 B

Fターム (16件)：

2G052EB11 ,  2G052FD06 ,  2G052GA03 ,  2G061AA01 ,  2G061AA02 ,  2G061AA11 ,  2G061AB00 ,  2G061AB04 ,  2G061AB05 ,  2G061BA06 ,  2G061BA07 ,  2G061BA08 ,  2G061CA09 ,  2G061CB01 ,  2G061CB02 ,  2G061EC03