特許
J-GLOBAL ID：200903081718920685
膜除去用粒子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
長谷川 芳樹
, 寺崎 史朗
, 阿部 豊隆
, 赤堀 龍吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-089713
公開番号（公開出願番号）：特開2005-271153
出願日： 2004年03月25日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
【課題】 除去したい膜のみを十分精度よくかつ確実に選択除去できる膜除去用粒子を提供する。【解決手段】 上記課題を解決する本発明の膜除去用粒子100は、固体粒子102と、その固体粒子102の外表面全体を被覆して形成された固体被覆層104とを備えるものである。このような構成を有することにより、膜除去用粒子100は、被加工物へ、十分な衝突速度をもって衝突することができ、しかも複数の膜除去用粒子100間における衝突圧の偏差を十分に小さくする。その結果、膜除去用粒子100は、中間加工品上に形成された不要なバリ等を十分選択的に除去できる。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
1粒の固体粒子と、
その固体粒子の外表面全体を被覆して形成された固体被覆層と、
を備えることを特徴とする膜除去用粒子。
IPC (2件)：
FI (3件)：
B24C11/00 Z
, B24D3/00 310D
, B24D3/00 320A
3C063BB03
, 3C063BB04
, 3C063BB15
, 3C063EE29
出願人引用 (1件)
-
ブラスト加工用研磨材
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-360561
出願人：松下電器産業株式会社
審査官引用 (7件)
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