特許
J-GLOBAL ID：200903081735914613
スプレイエッチング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-083321
公開番号（公開出願番号）：特開平5-247671
出願日： 1992年03月04日
公開日（公表日）： 1993年09月24日
要約：
【要約】【目的】 金属薄板のエッチング面全体を常に疲労度の少ないエッチング液で覆うようにし、エッチング速度を大きくかつ金属薄板全面にわたって均一にし、高精度なエッチングを均一にかつ効率良く行なえるようにする。【構成】 吸液手段18により、スプレイノズルから噴出され金属薄板12上に残留する疲労したエッチング液20'を吸引して金属薄板上から排除するようにした。
請求項（抜粋）：
金属薄板の表面にエッチング液を吹き付けるスプレイ手段を備えてなるスプレイエッチング装置において、前記スプレイ手段から噴出され金属薄板上に残留する疲労したエッチング液を吸引して金属薄板上から排除する吸液手段を設けたことを特徴とするスプレイエッチング装置。
IPC (3件)：
C23F 1/08 103
, H01J 29/07
, H01L 23/50
